電子移動度
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電子移動度(でんしいどうど、electron mobility)とは、固体の物質中での電子の移動のしやすさを示す値である。また、単に移動度という場合はキャリアの移動のしやすさを示す。半導体の場合、キャリアとは、電子および正孔のことである。
[編集] 定義
物質に電場E をかけたとき、電場によって電子(もしくは正孔)が平均速度v で移動したとき、次式で定義される。
キャリアの電荷をq 、電子の有効質量をm*、電子の緩和時間をτとすると 移動度は、次式で算出される。
[編集] 半導体工学における移動度の意味
移動度は、抵抗率に反比例する。すなわち、抵抗率をρ、キャリア密度をnとすれば
このため、移動度は物質の電気的特性を決める重要なパラメーターである。
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