Excimerlézer
A Wikipédiából, a szabad lexikonból.
Az excimerlézer a kémiai lézerek egyik típusa. Az első excimerlézert 1971-ben Nyikolaj Baszov, V. A. Danilychev és Ju. M. Popov készítette Moszkvában. Bódog Ferenc, Frank Béla, Hebling János és Kovács Gábor (MTA Lézerfizikai Tanszéki Kutatócsoport, JATE) fejlesztette ki az első hazai excimerlézert, melyért 1986-ban MTA Ifjúsági Díjat kaptak. [1]
A lézerműködés feltételét, miszerint az atom (molekula) energiaszintjei közül a magasabban fekvőre több atomot kell gerjeszteni, mint az alacsonyabbra (populáció inverzió) különleges módon oldják meg: az excimerek (gerjesztett dimer = excited dimer) olyan molekulák, melyek csak gerjesztett állapotban léteznek (pl. a nemesgázok molekulái); ha nincs gerjesztés, a molekula két atomra esik szét. Az excimerlézerben a felső energiaszint egy gerjesztett molekula szintje, a sugárzás révén a molekula az alsó energiaszintre kerül és szétesik, tehát nincs molekula az alsó szinten. A gerjesztést leggyakrabban elektronnyalábbal vagy elektromos kisüléssel valósítják meg, a keletkező lézerfény a látható vagy az ultraibolya tartományba esik.
Excimer | Hullámhossz |
---|---|
F2 | 157 nm |
ArF | 193 nm |
KrF | 248 nm |
XeBr | 282 nm |
XeCl | 308 nm |
XeF | 351 nm |
Az excimerlézerek fontos alkalmazási területe a sebészet, különösképpen a szemsebészet, valamint a félvezető-gyártás.