Dyskusja:MEMS
Z Wikipedii
Mikrosystem to określenie urządzeń o wielkości rzędu mikrometrów a nawet mniejszych.
Mikrosystemy możemy podzielić na: MEMS, MEOMS, Mikromaszysny, Mikroroboty, RF MEMS oraz μTAS.
Mikrosystemy wytwarza się z następujących matyeriałów:
-krzem monokrystaliczny, -krzem polikrystaliczny, -szkło, -ceramika, -polimery, -metale
Technologie stosowane do wytwarzania mikrosystemów. -głęboka mikromechaniczna obróbka krzemu -powierzchniowa mikromechaniczna obróbka krzemu -łączenie krzemu z krzemem oraz krzemu ze szkłem bezpośrednio lub poprzez warstwe pośrednią jaką może być teflon lub folia (bonding) -techiki mikroelektroniczne -techniki mikroinżynieryjne
Z mikrosystemami mamy do czynienia w codzienym życiu chodź nie zdajemy sobie z tego sprawy. Są one wykorzystywane szczegónie w motoryzacji(czujniki poduszek powietrznych, cofania, ciśnienia, ABS), sprzęcie komputerowym (głowice drukarek, projektory multimedialne), medycynie i innych dziedzinach.
W ostatnich ostatnich latach obserwuje sie duży rozwój mikrosystemów, szczególne mikosystemów do analizy chemicznej (μTAS - Micro Total Analysis Systems)