MEMS

Z Wikipedii

MEMS (ang. Micro Electro-Mechanical Systems), popularne określenie miniaturowych urządzeń elektro-mechanicznych, o rząd wielkości większych niż te zbudowane używając nanotechnologii.

Przyrządy MEMS to elementy mikromechaniczne o wymiarach mikrometrowych, zawierające trójwymiarowe mikrostruktury wykonane często metodami litografii. MEMSy są zazwyczaj wykonane za pomocą technologii mikroelektroniki, podobnych do wykorzystywanych przy wytwarzaniu przyrządów półprzewodnikowych i układów scalonych. Wyróżnia się dwie grupy technologii: mikroobróbkę powierzchniową i mikroobróbkę objętościową. Rozmiary przyrządów zawierają się w przedziale od mikrometra do milimetrów.

Przy tak niewielkich rozmiarach przyrządów ludzka intuicja bywa niewystarczająca do zrozumienia zjawisk rządzących działaniem przyrządów. W przyrządach MEMS, na skutek dużego stosunku powierzchni do objętości, zjawiska elektrostatyczne i lepkości (zwilżania) mogą dominować na efektami bezwładności masy lub pojemności cieplnej.

Przyrządy MEMS wytwarzane są za pomocą zmodyfikowanych technologii obróbki krzemu (opracowanych na użytek elektroniki), wytłaczania (ang. molding), platerowania (ang. plating) i innych technologii przydatnych do tworzenia miniaturowych przyrządów.