真空ポンプ
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真空ポンプ(しんくうポンプ、バキュームポンプ Vacuum pump)とは、容器内から気体を排出し、真空を得るためのポンプである。
どれだけの高真空を必要とするか、また排気する気体の成分によって、使用すべき真空ポンプは異なる。真空ポンプは、構造に油を用いるウェットポンプと、油を用いないドライポンプとに大別される。一般的に、ウェットポンプは比較的大気圧に近い領域で、ドライポンプは高真空以上の領域で使用されることが多い。
真空ポンプの分類法としては更に容積移送式、運動量輸送式、気体溜め込み式 というような分類法もある。
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