半導体工学
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半導体工学（はんどうたいこうがく）は、半導体素子の設計・製造、寿命などの性能評価、半導体を利用した計測などを取り扱う工学である。下記のように多様な技術が関係する。
目次 |
[編集] 設計
- 回路設計
- プロセス・デバイス構造の設計（シミュレーション）
- TCAD (プロセスシミュレーション、デバイスシミュレーション)
- 製造用機器の設計
[編集] 製造技術
- 拡散（熱拡散）・酸化（熱酸化）
- 蒸着
- スパッタリング
- スピンコート
- CVD（化学気相成長法）
- PVD（物理気相成長法）
- MBE（分子線エピタキシー法）
- エピタキシャル成長
- イオン注入
- フォトリソグラフィ（パターニング）
- エッチング
- FIB(Focused Ion Beam)
- CMP（化学機械研磨）
- メタライズ（配線）
- 多層配線
- 製造時の欠陥検出
- テストパターン
- 工程管理
- ダイシング
- パッケージング（組立）
[編集] 半導体の物性・特性の測定手段
半導体の示す様々な物性は、研究開発や製造時の特性評価などにも利用されるほか、多くは半導体の用途にも深く関係する。
- 電気伝導度
- ホール効果
- PN接合やショットキー接合の特性：
- 組成や不純物：EDX、EPMA、SIMS、ICP
- 構造：光学顕微鏡、XRD、RBS、SEM、TEM、AFM、XRF、SPM、SCM
- バンド構造など：光電効果・光電子分光、逆光電子分光、DLTS、フォトルミネセンス
[編集] 製品の性能評価
- 電気特性
- 寿命
- 信頼性
[編集] 関連項目
| 分類 | P型半導体 | N型半導体 | 真性半導体 | 不純物半導体 |
|---|---|
| 種類 | 窒化物半導体 | 酸化物半導体 | アモルファス半導体 | 電界型半導体 | 磁性半導体 |
| 半導体素子 | 集積回路 | マイクロプロセッサ | 半導体メモリ | TTL論理素子 |
| バンド理論 | バンド構造 | バンド計算 | 第一原理バンド計算 | 伝導帯 | 価電子帯 | 禁制帯 | フェルミ準位 | 不純物準位 | 電子 | 正孔 | ドナー | アクセプタ | 物性物理学 |
| トランジスタ | サイリスタ | バイポーラトランジスタ(PNP、NPN) | 電界効果トランジスタ | パワーMOSFET | 薄膜トランジスタ | CMOS | 増幅回路 |
| 関連 | ダイオード | 太陽電池 |
| その他 | PN接合 | 空乏層 | ショットキー接合 | MOS接合 | 電子工学 | 電子回路 | 半導体工学 | 西澤潤一 | 金属 | 絶縁体 |
