スパッタリング
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スパッタリングは、
両方とも本稿で記述する。
[編集] 絵画
絵の具を細かな目を持つ網に塗り、それをブラシでこする（あるいは目の細かな網を、絵の具をつけたブラシでこする）ことで、小さな粒子として絵の具を飛ばす手法。エアブラシよりも荒い粒が得られる。
[編集] 真空技術
薄膜としてつけたい金属を真空チャンバー内にターゲットとして設置し、そこに高電圧をかけてイオン化させた希ガス元素（普通はアルゴンを用いる）を衝突させる。するとターゲットの表面の原子がはじき飛ばされ、基板に到達して製膜することが出来る。
原理も単純であり市販品も数多いことから、様々な技術分野で広く使われている。
最も顕著な例は、蛍光灯である。 使用年月の長い蛍光灯は、両端が黒く着色される。 これは、蛍光管内のガスが、蛍光管両端の金属をスパッタリング現象によってはじき出し、その原子が付着したものである。
最近では、高品質の薄膜が要求される半導体・液晶・プラズマディスプレイ・光ディスク用の薄膜を製造する手法として、近年着目されている薄膜製造の方法でもある。
また、真空チャンバー内にガスを導入し、これをはじき飛ばされた金属と反応させることによって化合物を製膜する反応性スパッタ法も新たな合金や人工格子の作製技術として注目されている。
２極・３極・４極・ＲＦ・マグネトロン・対向ターゲット・ミラートロン・ＥＣＲ・イオンビーム・デュアルイオンビームなどの方式がある。
