Sekundär-Neutralteilchen-Massenspektrometrie
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Sekundär-Neutralteilchen-Massen-Spektrometrie (SNMS) ist ein Analyseverfahren der Oberflächenphysik/Oberflächenchemie und gehört wie Sekundär-Ionen-Massen-Spektrometrie (SIMS), Rutherford Backscattering (RBS) und Low Energy Ion Scattering (LEIS) zu den Ionenstrahltechniken.
Dabei wird die Probe mit Primärionen (O+, Cs+, Ga+, Ar+) oder Clustern (SF5+, Au3+, Bi3+) mit einer Energie von 0,2 – 20 keV beschossen. Hierbei entstehen neutrale, positiv und negativ geladene Teilchen. Im Gegensatz zu SIMS werden bei SNMS die Neutralteilchen untersucht. Um deren Masse und Zahl massenspektrometrisch bestimmen zu können, werden die Neutralteilchen, nachdem sie die Probe verlassen haben, in einem Niederdruckplasma durch Elektronenstoß nachionisiert.
Das Verfahren besitzt eine hohe Nachweisempfindlichkeit im ppm-Bereich, was eine geringe Beschussintensität erlaubt. Dadurch kann auch eine sehr hohe Tiefenauflösung erzielt werden. Außerdem können auch nichtleitende Proben untersucht werden.
Ein großer Vorteil der SNMS gegenüber anderen Verfahren wie SIMS ist die einfache Quantifizierbarkeit der Messwerte, da störende Effekte wie Matrixeffekte und bevorzugte Zerstäubung (wird im Sputtergleichgewicht ausgeglichen) keinen Einfluss haben.
Allerdings erlaubt SNMS nur eine geringe laterale Auflösung.
[Bearbeiten] Literatur
- R. Jede, H. Peters et al, Analyse dünner Schichten mittels Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen. Technisches Messen tm 11/1986, 407-413 (1986)
