リン化水素

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リン化水素（リンかすいそ、phosphorus hydride）は分子式 PH₃で表わされる化合物である。CAS登録番号は7803-51-2。水素化リン、ホスフィン (phosphine) とも呼ばれる。IUPAC組織名はホスファン (phosphane) である。

半導体製造のドーピングガスの原料であり、ケイ素をn形にする場合や、InGaP（インジウムガリウムリン）などといった半導体を製造するときにも用いる。

[編集] 物理的性質

• 化学式 PH₃
• 無色、腐魚臭の気体
• 融点 −134 °C
• 沸点 −87.8 °C
• 密度 1.379 g/L (gas, 25 ℃)

[編集] 化学的性質

可燃性の有毒気体（許容量 0.3 ppm）。

水溶液は弱塩基性である。アンモニアに性質が似ている。

[編集] 生成方法

• リン化カルシウムに水を加える反応による。

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カテゴリ: 無機化合物 | リンの化合物 | 水素の化合物 | 自然科学関連のスタブ項目

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