Kohärenzradar
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Das Kohärenzradar ist ein Weißlichtinterferometer mit dem die Form glatter und rauer Oberflächen gemessen werden kann.
Während die Weißlichtinterferometrie auf glatten Oberflächen schon sehr lange bekannt ist, wurde es erst mit dem Kohärenzradar möglich auch raue Oberflächen zu messen. Auf rauen Oberflächen entstehen bei Interferenz Speckle. Im Gegensatz zur Lasertriangulation, bei der die Speckle das Messergebnis stören, sind sie hier jedoch Träger der (Tiefen-)Information - die Höhe der Oberfläche kann innerhalb der Speckle bestimmt werden.
Das Kohärenzradar liefert als Ergebnis die Topografie der Oberfläche. Bei lichtdurchlässigen Schichten ist es zwar mit dem Kohärenzradar prinzipiell auch möglich Informationen aus tiefer liegenden Schichten zu bekommen, allerdings gibt es für dies Aufgabe besser geeignete spezielle Tomografieverfahren, wie die Optische Kohärenztomografie.
