Sistemas microelectromecánicos
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Los Sistemas microelectromecánicos (SMEM), mejor conocidos como Microelectromechanical Systems o MEMS se refieren a la tecnología electromecánica micrométrica y sus productos, a escalas relativamente más pequeñas se mezcla con los Sistemas nanoelectromecánicos (SNEM), mejor conocidos por su denominación en inglés "Nanoelectromechanical Systems" o (NEMS) y con la nanotecnología. En Europa se conoce a los SMEM más comúnmente como Tecnología de microsistemas (MST, por sus siglas en inglés). También se le conoce en diversas partes del mundo como micromáquinas. Esto no debe confundirse con la visión hipotética de la nanotecnología molecular o la electrónica molecular. Por lo general, los SMEM por lo común tienen dimensiones que van desde el micrometro hasta el milímetro. A estas escalas, el comportamiento físico intuitivo e innerente del hombre no necesariamente es el correcto, debido al incremento en la razón entre el área de superficie y el volumen de los SMEM, algunos efectos de superficie como los electrostáticos y térmicos dominan los efectos volumétricos tales como la inercia o la masa térmica. Los SMEM son fabricados utilizando modificaciones a la tecnología de silicio utilizada para fabricar dispositivos microelectrónicos (chips), moldeando y plating, wet etching (Hidróxido de potasio, TMAH) y dry etching (RIE y DRIE), maquinado eléctrico de descarga (EDM), y otras tecnologías capaces de manufacturar dispositivos muy pequeños.
Existen compañías de diversos tamaños con importantes programas de SMEM. Las compañías más grandes se especializan en la manufactura de grandes volúmenes de componentes baratos o soluciones de paquete para mercados finales tales como el automotriz, biomédico y el de la electrónica. Las compañías pequeñas exitosas proveen soluciones y absorben los gastos de fabricación de los clientes con altos niveles de ventas. Tanto las compañías pequeñas como las grandes realizan I&D para explorar la tecnología de SMEM. La complejidad y el desempeñi de avanzados sensores basados en tecnología de SMEM son descritos mediante distintas generaciones de sensores SMEM.
Algunas de las aplicaciones más comunes son:
- impresoras de inyección de tinta, las cuales usan un piezoeléctrico o burbuja de eyección para depositar la tinta en el papel.
- acelerómetros utilizados en automóviles modernos para activación de la bolsa de aire al sufrir una colisión.
- giroscópio SMEM, es usado también en autos modernos y otras aplicaciones para detectar yaw; e.g. to deploy a roll over bar or trigger control de estabilidad dinámico.
- sensores de presión, e.g. sensores de presión para TIRE en autos y sensores DISPOSABLE de la presión sanguínea.
- Pantallas en chip, e.g. el DMD chip que en un proyectos basado en tecnología DLP tiene en su superficie cientos de miles de microespejos.
- Tecnología óptica de conmutación, utilizada para comunicación de datos, la cual es parte de la tecnología emergente w:en:smartdust.
El análisis por elemento finito es una parte importante en el diseño de los SMEM.
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