Quang thạch bản
Bách khoa toàn thư mở Wikipedia
Quang thạch bản hay photolithography trong tiếng Anh là một kỹ thuật xử lý dùng trong chế tạo thiết bị bán dẫn bao gồm việc truyền một hình ảnh từ quang bản đến bề mặt đĩa bán dẫn. Nó tương tự như in thạch bản thông thường dùng trong in ấn. Xử lý này còn gọi là quang thạch bản micrô, vì nó tạo ra các chi tiết hình ảnh nhỏ cỡ micrômét, phân biệt với công nghệ tương tự nhưng cho các chi tiết hình ảnh nhỏ cỡ nanômét là quang thạch bản nanô.
[sửa] Kỹ thuật
Kỹ thuật quang thạch bản luôn kết hợp với kỹ thuật khắc axít, thêm hóa chất, và xử lý hóa chất trong nhiều bước lặp lại trên một đĩa bán dẫn ban đầu phẳng.
[sửa] Xem thêm
- Quang thạch bản nanô
- Quang thạch bản mềm
