Saliciuro
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Il saliciuro non é un materiale ma una tecnologia usata nell'industria microelettronica, in particolare nella fabbricazione dei dispositivi a semiconduttore su wafer di silicio (ad esempio dispositivi CMOS). Il termine saliciuro deriva dall'inglese, "self-aligned silicide" ossia siliciuro auto-allineato, dal momento che questa tecnologia non prevede l'utilizzo di processi di litografia e rimozione, come invece avviene per altre tecnologie simili (ad esempio).
Scopo di questa tecnologia é la crescita di un film di siliciuro di un metallo di transizione su aree di silicio mono e poli-cristallino del wafer, evitando la reazione del metallo di transizione con altri materiali presente (ad esempio: ossido di silicio e nitruro di silicio).
I metalli di transizione tipicamente usati nella tecnologia saliciuro sono:
